PM> Install-Package Spire.XLS

using Spire.Xls;
using System.Drawing;

namespace ApplySuperscriptAndSubscript
{
    internal class Program
    {
        static void Main(string[] args)
        {
            //Workbookオブジェクトを作成する
            Workbook workbook = new Workbook();

            //最初のワークシートを取得する
            Worksheet sheet = workbook.Worksheets[0];

            //特定のセルにテキストを追加する
            sheet.Range["B2"].Text = "下付き文字：";
            sheet.Range["D2"].Text = "上付き文字：";

            //特定のセルにリッチテキストを追加する
            CellRange range = sheet.Range["B3"];
            range.RichText.Text = "an = Sn - Sn-1";

            //カスタムフォントを作成する
            ExcelFont font = workbook.CreateFont();

            //フォントの下付き文字プロパティを適用する
            font.IsSubscript = true;

            //フォント色を設定する
            font.Color = Color.Green;

            //セル内のリッチテキストの特定の文字にフォントを割り当てる
            range.RichText.SetFont(6, 6, font);
            range.RichText.SetFont(11, 13, font);

            //特定のセルにリッチテキストを追加する
            range = sheet.Range["D3"];
            range.RichText.Text = "a2 + b2 = c2";

            //カスタムフォントを作成する
            font = workbook.CreateFont();

            //フォントの上付き文字プロパティを適用する
            font.IsSuperscript = true;

            //セル内のリッチテキストの特定の文字にフォントを割り当てる
            range.RichText.SetFont(1, 1, font);
            range.RichText.SetFont(6, 6, font);
            range.RichText.SetFont(11, 11, font);

            //列幅を自動調整する
            sheet.AllocatedRange.AutoFitColumns();

            //結果ファイルを保存する
            workbook.SaveToFile("ApplySubscriptAndSuperscript.xlsx", ExcelVersion.Version2013);
            workbook.Dispose();
        }
    }
}

Imports Spire.Xls
Imports System.Drawing

Namespace ApplySuperscriptAndSubscript
    Friend Class Program
        Private Shared Sub Main(ByVal args As String())
            'Workbookオブジェクトを作成する
            Dim workbook As Workbook = New Workbook()

            '最初のワークシートを取得する
            Dim sheet As Worksheet = workbook.Worksheets(0)

            '特定のセルにテキストを追加する
            sheet.Range("B2").Text = "下付き文字："
            sheet.Range("D2").Text = "上付き文字："

            '特定のセルにリッチテキストを追加する
            Dim range As CellRange = sheet.Range("B3")
            range.RichText.Text = "an = Sn - Sn-1"

            'カスタムフォントを作成する
            Dim font As ExcelFont = workbook.CreateFont()

            'フォントの下付き文字プロパティを適用する
            font.IsSubscript = True

            'フォント色を設定する
            font.Color = Color.Green

            'セル内のリッチテキストの特定の文字にフォントを割り当てる
            range.RichText.SetFont(6, 6, font)
            range.RichText.SetFont(11, 13, font)

            '特定のセルにリッチテキストを追加する
            range = sheet.Range("D3")
            range.RichText.Text = "a2 + b2 = c2"

            'カスタムフォントを作成する
            font = workbook.CreateFont()

            'フォントの上付き文字プロパティを適用する
            font.IsSuperscript = True

            'セル内のリッチテキストの特定の文字にフォントを割り当てる
            range.RichText.SetFont(1, 1, font)
            range.RichText.SetFont(6, 6, font)
            range.RichText.SetFont(11, 11, font)

            '列幅を自動調整する
            sheet.AllocatedRange.AutoFitColumns()

            '結果ファイルを保存する
            workbook.SaveToFile("ApplySubscriptAndSuperscript.xlsx", ExcelVersion.Version2013)
            workbook.Dispose()
        End Sub
    End Class
End Namespace